場發(fā)射電鏡的相關知識

　　場發(fā)射電鏡采用了肖特基場發(fā)射電子(SFE)源。其特點是：探針電流大，容易進行BSE、EDS、WDS、EBSD、CL等分析。電子束噪聲較小，<1%。束流穩(wěn)定度高，優(yōu)于0.2%/h。適宜于長時間的各種準確分析。對環(huán)境、樣品要求較低。使用方便、維護簡單，且工作穩(wěn)定。可提供高得多的探測電流來滿足使用需要：能量發(fā)散于冷場發(fā)射(CFE)源類似，但發(fā)射電流卻高出50多倍；而較大的虛擬源尺寸，可以將振動的敏感性大幅度降低。高亮度的肖特基場發(fā)射(SFE)源結合的GEMINI鏡筒提供了用于高分辨率的小束斑尺寸，同時具有高的襯度和高的束流。

　　場發(fā)射電鏡加速電壓0.1-30kV，且在0.1kV的加速電壓下仍有較高的分辨率。隨著電子束能量的降低，像差也隨著降低。從而在降至100V時，也有水平的分辨率，在30KV時具有高分辨率。高的電子束能量再加上電子束路徑上不存在交叉，降低了電子束電子之間的靜電庫倫作用，避免了由此而引起的亮度降低以及顯微鏡的分辨率的限制。尤其是需要低電子束能量時，始終能提供電子束亮度。

　　電磁透鏡與靜電透鏡的組合等效于一個三片型光學透鏡組。增大了試樣處的入射電子束孔徑角，進而提高分辨率；透鏡控制系統(tǒng)集成有聚焦控制功能，無論工作距離有多長、所選能量多大、二者的組合方式如何，都能隨時選出合理的電子束孔徑，即使分辨率極限下，也能提供出色的圖像襯度。

　　具有較好的消像差功能，可使電鏡更清晰成像。GEMINI透鏡中集成有一個單級電子束掃描系統(tǒng)，其位于靜電透鏡縫隙的前方，降低了橫向色差及其它掃面色差。